'n Plasmaverwerker is 'n toestel wat vir plasmaverwerking gebruik word. Die struktuur daarvan bestaan uit die volgende hoofkomponente:
Ontladingskamer: Die ontladingskamer is die kernkomponent van 'n plasmaverwerker. Dit gebruik hoë WS-spanning of radiofrekwensie elektriese velde om gasontladings te veroorsaak en sodoende plasma te vorm. Die afvoerkamer is tipies gemaak van isolerende materiale soos keramiek of glas.
Werkkamer: Die werkkamer is die primêre plek vir materiaalverwerking. Verskillende verwerkingseffekte word bereik deur verskillende gas-, druk- en kragparameters te beheer. Die werkkamer is tipies gemaak van materiale met goeie vakuum verseëling eienskappe, soos metaal of keramiek.
Ontruimingstelsel: Die vakuumstelsel word gebruik om die gas uit die werkkamer te onttrek om 'n vakuumomgewing tydens die verwerking te skep. Die vakuumstelsel bestaan tipies uit 'n vakuumpomp en verwante beheerstelsel.
Hoë-frekwensiekragtoevoer: Die hoë-frekwensiekragtoevoer verskaf energie aan die plasmaverwerker, en ioniseer die gas om plasma te vorm deur 'n hoë-elektriese veld. Die hoë-kragtoevoer bestaan tipies uit elektroniese komponente en verwante beheerstelsels.
Outomatiese beheerstelsel: Die outomatiese beheerstelsel beheer die hele plasmaverwerkingsproses, insluitend parameterinstelling, verwerkingstydbeheer en vakuumvlakmonitering. Die outomatiese beheerstelsel bestaan tipies uit 'n rekenaar en verwante beheersagteware.
Boonop is plasmaverwerkers toegerus met 'n gastoevoerstelsel om die nodige gasse aan die ontladingskamer te verskaf. Hierdie stelsel bestaan tipies uit 'n gassilinder, 'n drukreguleerder, 'n vloeibeheerder en ander komponente.
Ter opsomming, die struktuur van 'n plasmaverwerker sluit die ontladingskamer, 'n werkkamer, 'n vakuumstelsel, 'n hoë-frekwensiekragtoevoer en 'n outomatiese beheerstelsel in. Die gekoördineerde werking van hierdie komponente stel die plasmaverwerker in staat om verskeie fisiese en chemiese reaksies op die materiaaloppervlak te veroorsaak en sodoende die verlangde behandeling te verkry.